SGA-501氨氣檢測儀是專為薄膜材料制備工藝(CVD/ALD 氮化硅沉積、金屬氧化物薄膜合成等)設計的一款工業(yè)級NH3氣體報警器裝置，該設備以“多量程精準覆蓋、智能報警聯(lián)動、無線聯(lián)網(wǎng)管控” 為核心優(yōu)勢，完美適配潔凈室高要求環(huán)境，同時滿足人員安全防護與工藝濃度控制雙重需求，是薄膜生產(chǎn)全流程氨氣監(jiān)測的專用解決方案。

薄膜材料制備工藝專用氨氣檢測儀本地配備高分貝蜂鳴器(音量≥100dB，覆蓋真空泵噪音)、三色LED報警燈(紅色高報、黃色低報、綠色正常)，報警燈亮度≥500cd/m3，強光下可視距離達 10 米;支持三級自定義閾值設置(低報、中報、高報)，默認適配薄膜工藝場景 —— 低報 10ppm(啟動局部排風)、中報 20ppm(暫停工藝)、高報 50ppm(全區(qū)域撤離)，閾值可通過報警主機或云端平臺統(tǒng)一配置，確保多設備閾值一致性。

薄膜材料制備工藝專用氨氣檢測儀出廠標配帶報警主機(型號：SGA-800A)為薄膜工藝量身定制，具備 “數(shù)據(jù)匯聚、聯(lián)動控制、應急指揮” 三大核心能力。

1.多設備接入：單臺主機可接入≤200臺氨氣檢測儀，支持固定式、便攜式設備混合接入，實時顯示各檢測點位置(地圖標注)、濃度、報警狀態(tài)，紅色閃爍圖標突出報警點位;

2.工藝聯(lián)動控制：主機可與薄膜設備 PLC 系統(tǒng)、通風系統(tǒng)、氣體切斷閥聯(lián)動 —— 當工藝腔氨氣濃度偏差>±1ppm 時，自動調(diào)整進氣閥開度;濃度超 20ppm 時，觸發(fā) CVD/ALD 設備停機，同時關(guān)閉氨氣總閥、啟動屋頂應急排風機;

3.應急指揮功能：報警時主機自動彈出應急處置流程(如泄漏區(qū)域疏散路線、設備關(guān)停步驟)，支持一鍵撥打應急電話(如安全員、環(huán)保部門)，并生成報警事件報告(含濃度變化曲線、處置記錄)，便于后續(xù)追溯分析。

薄膜材料制備工藝專用氨氣檢測儀布設方案：

1.CVD/ALD 工藝腔監(jiān)測

部署位置：工藝腔進氣口(氨氣與硅烷混合前)、排氣口;

功能應用：進氣口鎖定 0-20ppm 量程，實時監(jiān)測氨氣濃度，數(shù)據(jù)傳輸至主機后聯(lián)動調(diào)整進氣閥，確保濃度偏差≤±1ppm，保障氮化硅薄膜致密性;排氣口啟用 0-100ppm 量程，監(jiān)測未反應氨氣(通?！?ppm)，超限時觸發(fā)尾氣處理裝置加強吸附，避免排放超標。

2.氨氣儲存與輸送管控

部署位置：鋼瓶柜(固定式氨氣檢測儀+0-500ppm量程)、VMB氣體面板(固定式氨氣檢測儀+0-100ppm量程);

功能應用：鋼瓶柜檢測儀與氣體切斷閥聯(lián)動，泄漏濃度超 50ppm 時自動關(guān)閥;VMB 面板檢測儀通過主機統(tǒng)一監(jiān)控各支路氨氣濃度，發(fā)現(xiàn)泄漏時定位具體支路，減少全系統(tǒng)停機影響。

3.潔凈室與巡檢監(jiān)測

部署位置：潔凈室回風出風口(固定式+0-100ppm量程)、巡檢人員配備便攜式氨氣檢測儀設備;

功能應用：回風出風口檢測儀每500㎡布置1臺氨氣檢測儀，監(jiān)測整體環(huán)境氨氣濃度，超 10ppm 時啟動新風置換;便攜式設備支持藍牙連接巡檢 APP，記錄巡檢軌跡與點位濃度，生成電子巡檢報告，替代傳統(tǒng)紙質(zhì)記錄，提升合規(guī)管理效率。