在氣相沉積(CVD)工藝中，氮?dú)庾鳛檩d氣、保護(hù)氣或反應(yīng)氣，其純度與濃度穩(wěn)定性直接影響薄膜沉積質(zhì)量與工藝安全性。深國安研發(fā)的氣相沉積(CVD)工藝專用SGA-500氮?dú)鈾z測儀以 “多量程精準(zhǔn)覆蓋、高精度實時監(jiān)測” 為核心，專為半導(dǎo)體晶圓鈍化層、光伏電池減反射膜、顯示面板 ITO 膜等 CVD 制備場景設(shè)計，完美適配低壓 / 常壓 CVD 設(shè)備環(huán)境，為工藝穩(wěn)定性與人員安全提供雙重保障。

氣相沉積(CVD)工藝專用SGA-500氮?dú)鈾z測儀多量程覆蓋0-100PPM、100%LEL、30%VOL、100%VOL等大小量程，高分辨率0.001PPM，內(nèi)置進(jìn)口電化學(xué)傳感器，實測精度3-5%范圍內(nèi)，可定制1-6種氣體檢測指標(biāo)，可選量程不限，技術(shù)原理不限，精度要求不限等。氣相沉積(CVD)工藝專用SGA-500氮?dú)鈾z測儀配備2.4英寸高清顯示彩屏，實時顯示氮?dú)鉂舛惹€、設(shè)備狀態(tài)及報警信息;支持存儲≥10 萬組歷史數(shù)據(jù)，可通過 USB 或 RS485 接口導(dǎo)出檢測報告(含時間、濃度、工藝階段)，滿足半導(dǎo)體行業(yè) ISO 9001 質(zhì)量追溯要求。

氣相沉積(CVD)工藝專用SGA-500氮?dú)鈾z測儀符合《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》(GB 50472-2008)、半導(dǎo)體行業(yè) SEMI S2/S8 安全標(biāo)準(zhǔn)，提供1年整機(jī)質(zhì)保(核心部件傳感器提供1年服務(wù))。針對 CVD 工藝的特殊性，深國安SGA-501氮?dú)鈾z測儀可提供定制化服務(wù)(如特殊量程校準(zhǔn)、與特定 CVD 設(shè)備的聯(lián)動調(diào)試)，同時配備專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊，24 小時響應(yīng)維護(hù)需求，確保設(shè)備長期適配工藝升級。