半導(dǎo)體(CVD)工藝專用氫氣檢測(cè)儀是專門針對(duì)化學(xué)氣相沉積環(huán)境設(shè)計(jì)的一款防爆型H2氣體報(bào)警儀裝置，產(chǎn)品集成高精度氫氣檢測(cè)與多氣體監(jiān)測(cè)功能，是保障半導(dǎo)體工藝安全的核心設(shè)備。半導(dǎo)體(CVD)工藝專用氫氣檢測(cè)儀兼容催燃燒，熱傳導(dǎo)等傳感技術(shù)，氫氣檢測(cè)精度達(dá)±3% FS，量程覆蓋0-50000ppm、0-100% LEL雙模式，滿足CVD工藝從微量泄漏到高濃度監(jiān)測(cè)的全場(chǎng)景需求。同時(shí)集成氧氣(0-25% VOL)、甲烷(0-100% LEL)等氣體檢測(cè)模塊，同步捕捉工藝環(huán)境多維度風(fēng)險(xiǎn)。

半導(dǎo)體(CVD)工藝專用氫氣檢測(cè)儀搭載工業(yè)級(jí)GPRS無線傳輸模塊，可實(shí)時(shí)將檢測(cè)數(shù)據(jù)上傳至云平臺(tái)，支持電腦端管理系統(tǒng)與手機(jī) APP 遠(yuǎn)程查看，數(shù)據(jù)傳輸延遲≤1 秒，滿足 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)對(duì)工藝參數(shù)記錄的要求。內(nèi)置 16GB 存儲(chǔ)芯片，可保存 5 年以上歷史數(shù)據(jù)，支持 Excel 格式導(dǎo)出，便于合規(guī)審計(jì)。

半導(dǎo)體(CVD)工藝專用氫氣檢測(cè)儀響應(yīng)時(shí)間 T90≤10秒，配備三級(jí)報(bào)警系統(tǒng)(聲光振 + 遠(yuǎn)程推送)，報(bào)警閾值可自定義設(shè)置。設(shè)備采用 316L 不銹鋼外殼，防護(hù)等級(jí) IP67，耐受 CVD 工藝區(qū)的高溫(-20~60℃)與腐蝕性環(huán)境，確保長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。另外通過 EtherCAT 接口可與 CVD 設(shè)備 PLC 系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)，超標(biāo)時(shí)自動(dòng)觸發(fā)氣體切斷閥與通風(fēng)裝置，構(gòu)建 "檢測(cè) - 報(bào)警 - 處置" 的閉環(huán)安全體系，為半導(dǎo)體薄膜沉積工藝提供全方位氣體安全保障。