半導體專用二氯甲烷檢測儀，是針對半導體晶圓制造、光刻膠剝離、精密清洗等核心工藝場景研發(fā)的DCM氣體變送器，專為防控DCM氣體泄漏、保障工藝穩(wěn)定、守護人員安全及環(huán)保合規(guī)量身打造，適配12英寸/8英寸晶圓廠、半導體實驗室、先進封裝車間等嚴苛環(huán)境，是半導體行業(yè)不可或缺的安全與質(zhì)控核心裝備。

半導體專用二氯甲烷檢測儀采用進口PID技術原理，精準捕捉空氣中微量DCM氣體，檢測量程可根據(jù)半導體工藝需求定制(0-100ppm至0-2000ppm可選)，分辨率低至1ppb，檢測精度≤±3%FS，能快速響應微量泄漏，T90響應時間≤30秒，可有效規(guī)避DCM氣體累積引發(fā)的設備腐蝕、晶圓良率下降及人員健康風險，契合SEMI行業(yè)標準及GB相關環(huán)保要求。

半導體專用二氯甲烷檢測儀具備極強的環(huán)境適配性與抗干擾能力，采用鋁合金防爆外殼，防爆等級達ExdIICT6Gb，防護等級IP67，可耐受半導體車間高低溫(-40℃~70℃)、高潔凈度及弱腐蝕性環(huán)境，傳感器內(nèi)置PTFE防護膜，有效抵御工藝中雙氧水、氨水等試劑的干擾，確保長期穩(wěn)定運行。

半導體專用二氯甲烷檢測儀支持24小時連續(xù)在線監(jiān)測，配備大型LCD背光顯示屏，實時顯示氣體濃度、運行狀態(tài)及報警信息，支持4-20mA、RS485信號輸出，可無縫集成于車間PLC、MES控制系統(tǒng)，實現(xiàn)檢測數(shù)據(jù)實時上傳與溯源。內(nèi)置雙重報警機制，可預設高低報警閾值，超標時自動觸發(fā)85dB以上聲光報警，還可聯(lián)動通風、切斷閥等設備，實現(xiàn)“檢測-預警-處置”一體化閉環(huán)。

半導體專用二氯甲烷檢測儀安裝便捷、運維省心，采用壁掛式設計，無需復雜調(diào)試，支持紅外遙控開蓋校準，傳感器可現(xiàn)場更換且無需重新編程，大幅降低運維成本。其精準、穩(wěn)定、專用的核心優(yōu)勢，可有效防控DCM氣體泄漏風險，保障半導體工藝穩(wěn)定，助力企業(yè)實現(xiàn)安全合規(guī)、降本增效，適配3nm-14nm先進制程的嚴苛檢測需求。