半導(dǎo)體濺射工藝作為芯片薄膜制備的核心環(huán)節(jié)，常需使用氫氣作為特殊工藝氣體或設(shè)備清洗氣體，而氫氣極易燃，在真空濺射室等密閉環(huán)境中，微量泄漏就可能引發(fā)燃爆隱患，嚴(yán)重影響工藝穩(wěn)定性與生產(chǎn)安全。深國安半導(dǎo)體濺射工藝專用SGA-700氫氣傳感器，專為該場景定制研發(fā)，搭載工業(yè)級催化燃燒檢測原理，搭配兩年質(zhì)保承諾，兼具精準(zhǔn)性、適配性與高可靠性，為半導(dǎo)體濺射生產(chǎn)筑牢安全防線。

半導(dǎo)體濺射工藝專用SGA-700氫氣傳感器均經(jīng)過工廠嚴(yán)格校準(zhǔn)，出廠即可投入使用，無需額外繁瑣調(diào)試，大幅降低運(yùn)維成本;深國安提供兩年超長質(zhì)保服務(wù)，質(zhì)保期內(nèi)免費(fèi)提供故障檢修、元件更換等服務(wù)，相較于行業(yè)常規(guī)質(zhì)保期限更具優(yōu)勢，有效規(guī)避后期使用風(fēng)險(xiǎn)，減輕企業(yè)維護(hù)負(fù)擔(dān)。

半導(dǎo)體濺射工藝專用氫氣傳感器采用工業(yè)催化燃燒原理，符合半導(dǎo)體濺射工藝的嚴(yán)苛監(jiān)測需求，其核心由涂覆鉑基催化劑的檢測元件與惰性補(bǔ)償元件組成，依托惠斯通電橋電路實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)檢測。氫氣與檢測元件表面催化劑發(fā)生安全可控的無焰燃燒反應(yīng)，釋放的熱量改變元件電阻，通過電阻差值轉(zhuǎn)化為與氫氣濃度成正比的電信號，可精準(zhǔn)捕捉ppm級微量泄漏，檢測精度≤±3%FS，響應(yīng)時(shí)間T90≤10秒，量程適配0-100%LEL，完美匹配濺射工藝中氫氣的安全監(jiān)測需求，杜絕誤報(bào)、漏報(bào)隱患。

針對半導(dǎo)體濺射工藝的特殊環(huán)境，半導(dǎo)體濺射工藝專用SGA-700氫氣傳感器采用防腐蝕、抗干擾外殼，可耐受濺射工藝中的真空環(huán)境、輕微腐蝕性氣體及設(shè)備振動，防護(hù)等級達(dá)IP65以上，避免粉塵、水汽影響傳感器性能;體積小巧，適配濺射設(shè)備周邊、真空室接口等狹小安裝空間，可無縫集成至車間PLC、DCS控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)氫氣濃度實(shí)時(shí)傳輸與遠(yuǎn)程管控，不影響濺射工藝正常運(yùn)行。

SGA-700氫氣傳感器專為半導(dǎo)體濺射工藝量身定制，適配芯片制造、半導(dǎo)體器件生產(chǎn)等場景，憑借工業(yè)催化的精準(zhǔn)穩(wěn)定、場景化的優(yōu)化設(shè)計(jì)及兩年質(zhì)保的品質(zhì)保障，成為半導(dǎo)體企業(yè)實(shí)現(xiàn)氫氣安全合規(guī)監(jiān)測、保障生產(chǎn)穩(wěn)定的優(yōu)選裝備，助力半導(dǎo)體濺射工藝安全、高效推進(jìn)。