化學(xué)氣相沉積(CVD)硅烷檢測(cè)儀案例百科：

上?？蛻裟嘲雽?dǎo)體制造企業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中，硅烷常用于化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝，該工藝有時(shí)與濺射工藝協(xié)同用于半導(dǎo)體制造。硅烷也是高度易燃?xì)怏w，它在空氣中能自燃，一旦泄漏，很容易被周圍環(huán)境中的熱源(如設(shè)備運(yùn)行產(chǎn)生的熱量)點(diǎn)燃，引發(fā)火災(zāi)。因此，為安全起見(jiàn)，需要配備一批專業(yè)硅烷檢測(cè)儀設(shè)備，實(shí)現(xiàn)氣體濃度的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)、分級(jí)預(yù)警及數(shù)據(jù)追溯，規(guī)避安全事故與合規(guī)風(fēng)險(xiǎn)。該項(xiàng)目負(fù)責(zé)人經(jīng)過(guò)與深國(guó)安詳細(xì)技術(shù)洽談，定制107套硅烷檢測(cè)儀器。近期，設(shè)備已全部安裝完畢，正式投入使用當(dāng)中。

行業(yè)背景：

硅烷(SiH4，常簡(jiǎn)稱甲硅烷)作為半導(dǎo)體行業(yè)不可或缺的核心特種氣體，被譽(yù)為“芯片制造的硅之源”，貫穿晶圓制造、集成電路封裝、半導(dǎo)體器件生產(chǎn)等全流程核心工藝，是化學(xué)氣相沉積(CVD)、外延生長(zhǎng)、多晶硅制備及摻雜工藝的關(guān)鍵原料，其純度與使用安全性直接決定半導(dǎo)體芯片的性能、良率及生產(chǎn)穩(wěn)定性，90%的晶圓制造與先進(jìn)封裝環(huán)節(jié)均需依賴高純度硅烷氣體開(kāi)展生產(chǎn)活動(dòng)。

隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向高端化、精細(xì)化升級(jí)，芯片制程不斷突破(向7nm及以下節(jié)點(diǎn)邁進(jìn))，對(duì)硅烷氣體的純度要求提升至99.9999%以上，同時(shí)硅烷的高危特性也使得行業(yè)安全管控面臨嚴(yán)峻挑戰(zhàn)，硅烷檢測(cè)儀的應(yīng)用成為半導(dǎo)體行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的必然需求。

產(chǎn)品資料：

深國(guó)安SGA-500硅烷檢測(cè)儀是專門(mén)針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)所研發(fā)的一款高精度實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)型氣體報(bào)警器(帶CT6防爆證)，信號(hào)默認(rèn)為4-20mA電流輸出;產(chǎn)品運(yùn)用當(dāng)前最先進(jìn)的微電子處理技術(shù)，搭配國(guó)外原裝進(jìn)口氣體傳感器，可快速、準(zhǔn)確地檢測(cè)目標(biāo)氣體。產(chǎn)品為氣體檢測(cè)行業(yè)的最高三防設(shè)計(jì)：防高濃度過(guò)載(帶自我保護(hù)功能)、防止人員誤操作(內(nèi)置按鍵+可還原出廠設(shè)置)、防雷擊(三級(jí)標(biāo)準(zhǔn))。本質(zhì)安全型電路設(shè)計(jì)，配備鋁合金防爆外殼，即使惡劣環(huán)境下，也能安全使用。

SGA-500硅烷檢測(cè)儀可以在每個(gè)芯片生產(chǎn)車間現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境布設(shè)獨(dú)立氣體監(jiān)測(cè)點(diǎn)。它們可提供連續(xù)監(jiān)測(cè)，以全面了解整個(gè)設(shè)施的危險(xiǎn)氣體水平。適用于對(duì)特定場(chǎng)所進(jìn)行長(zhǎng)期的氣體監(jiān)測(cè)，如工廠、倉(cāng)庫(kù)、化工廠等，有助于及時(shí)發(fā)現(xiàn)潛在的安全隱患?？梢耘c其他設(shè)備或系統(tǒng)集成，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制和聯(lián)動(dòng)，例如當(dāng)檢測(cè)到氣體泄漏時(shí)，自動(dòng)關(guān)閉閥門(mén)或啟動(dòng)通風(fēng)設(shè)備。