產(chǎn)品概述

在半導(dǎo)體制造、電子工業(yè)等高精度工業(yè)場景中，氧氣濃度的精準監(jiān)測是保障工藝穩(wěn)定性、提升產(chǎn)品良率的核心要素。深國安自主研發(fā)的SGA-700半導(dǎo)體專用氧氣傳感器(0-30%VOL)具備“抗干擾設(shè)計+高靈敏度”雙核心技術(shù)，專為復(fù)雜工業(yè)環(huán)境量身定制，可實時捕捉微量氧氣濃度變化，為工藝控制提供可靠數(shù)據(jù)支撐。

針對半導(dǎo)體車間溫濕度波動(溫度20℃-60℃、濕度30%-85% RH)的痛點，SGA-700半導(dǎo)體專用氧氣傳感器內(nèi)置溫濕度補償芯片與動態(tài)基線修正算法。溫度變化時，實時補償電路抵消激光信號干擾，誤差控制在±0.3% F.S.以內(nèi);濕度環(huán)境下，防潮透氣膜與疏水涂層組合設(shè)計阻斷水汽侵入，確保檢測穩(wěn)定性。針對半導(dǎo)體工藝中常見的惰性氣體(如氮氣、氬氣)、有機蒸汽(光刻膠揮發(fā)物)等干擾因素，SGA-700半導(dǎo)體專用氧氣傳感器采用選擇性透氣膜與專利算法，在-10℃至+50℃、濕度30%-60% RH環(huán)境中，數(shù)據(jù)漂移量≤0.02% VOL/月，即使在高濃度化學(xué)尾氣環(huán)境中仍能保持精準檢測。

SGA-700半導(dǎo)體專用氧氣傳感器采用進口傳感技術(shù)，突破傳統(tǒng)電化學(xué)傳感器靈敏度瓶頸，實現(xiàn)0-30% VOL量程覆蓋，分辨率達0.1ppm(0-500ppm量程內(nèi))，可精準識別因新風系統(tǒng)故障導(dǎo)致的氧濃度微升(如從19.5% VOL升至19.7% VOL)，提前預(yù)警晶圓氧化風險。T90響應(yīng)時間≤5秒，實時追蹤晶圓傳送過程中局部氧濃度變化，為空氣分子污染物(AMC)控制系統(tǒng)提供即時數(shù)據(jù)，支撐通風系統(tǒng)動態(tài)調(diào)節(jié)。

?SGA-700半導(dǎo)體專用氧氣傳感器出廠已標氣校準，傳感器經(jīng)99.9%純度標準氣體校正后出貨，用戶無需現(xiàn)場標定，直接采集標準信號進行數(shù)據(jù)處理，年漂移量控制在±0.5% F.S.以內(nèi)，大幅降低運維成本。SGA-700半導(dǎo)體專用氧氣傳感器支持4-20mA模擬信號與RS485數(shù)字信號雙輸出，可無縫對接工藝設(shè)備控制系統(tǒng)與MES系統(tǒng)，部分型號還支持EtherNet/IP工業(yè)以太網(wǎng)協(xié)議，適配智慧工廠數(shù)字化升級需求。

應(yīng)用場景

1.半導(dǎo)體潔凈室環(huán)境監(jiān)控

?光刻車間?：安裝于光刻機周邊，監(jiān)測局部微環(huán)境氧濃度，防止光刻膠因氧化導(dǎo)致感光性能下降。

?PECVD沉積腔?：配套腔體排氣口監(jiān)測，確保氧含量<10ppm，避免氧化膜層生成缺陷。

?晶圓存儲間?：實時監(jiān)測氮氣保護柜內(nèi)氧濃度，保障待加工晶圓表面不被氧化。

?新風系統(tǒng)?：聯(lián)動控制新風量，將整體氧濃度穩(wěn)定在19.5%-20.5% VOL的最佳區(qū)間。

2.工業(yè)安全監(jiān)測

?特種氣體房?：在鋼瓶組間距5米內(nèi)均勻布置，實時監(jiān)測泄漏氣體濃度，當達到0.1ppb閾值時立即觸發(fā)聲光報警，同步聯(lián)動通風系統(tǒng)啟動。

?管道泄漏檢測?：按管道長度每10米布置1臺傳感器，或在閥門、法蘭等易泄漏節(jié)點重點安裝，實時監(jiān)測管道泄漏狀態(tài)，通過云端平臺定位泄漏區(qū)段。

?應(yīng)急處置現(xiàn)場?：應(yīng)急人員攜帶便攜式設(shè)備，或在現(xiàn)場臨時布置固定式傳感器，實時監(jiān)測泄漏氣體濃度變化，劃定安全區(qū)域與危險區(qū)域。

合規(guī)性與認證

SGA-700半導(dǎo)體專用氧氣傳感器傳感器符合RoHS、SEMI S2等半導(dǎo)體行業(yè)環(huán)保規(guī)范，封裝采用醫(yī)療級陶瓷外殼，經(jīng)ISO Class 3級潔凈度處理，可直接集成于Class 5級潔凈室環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，無需額外凈化處理。

深國安半導(dǎo)體專用氧氣傳感器(0-30%VOL)以抗干擾設(shè)計、高靈敏度檢測和免維護特性，為半導(dǎo)體制造、電子工業(yè)等領(lǐng)域提供了可靠的氧氣濃度監(jiān)測解決方案。其精準的數(shù)據(jù)輸出和穩(wěn)定的性能表現(xiàn)，助力企業(yè)提升工藝良率、降低安全風險，是工業(yè)氣體安全監(jiān)測領(lǐng)域的理想選擇。