近日，深國安批量出貨上?？蛻舭雽?dǎo)體項目定制70套可燃?xì)怏w檢測儀，將全面服務(wù)于芯片制造全流程的可燃?xì)怏w安全管控，為光刻、蝕刻、薄膜沉積等關(guān)鍵工藝筑牢安全防線。

項目背景：

半導(dǎo)體生產(chǎn)過程涉及到眾多復(fù)雜的工藝環(huán)節(jié)，其中不乏大量易燃易爆氣體的使用。例如，在芯片制造的光刻、刻蝕、沉積等工藝中，氫氣、硅烷、磷烷等氣體被廣泛應(yīng)用。這些氣體在特定的濃度和條件下，一旦發(fā)生泄漏，與空氣混合形成爆炸性混合物，遇到火源或靜電等能量激發(fā)，就可能引發(fā)劇烈的爆炸事故，不僅會造成設(shè)備損壞、生產(chǎn)中斷，還會嚴(yán)重威脅到現(xiàn)場工作人員的生命安全，給企業(yè)帶來巨大的經(jīng)濟(jì)損失和不良的社會影響。

在此背景下，為了進(jìn)一步提升生產(chǎn)安全性，保障生產(chǎn)的穩(wěn)定運(yùn)行，該客戶決定對其生產(chǎn)車間的可燃?xì)怏w監(jiān)測系統(tǒng)進(jìn)行升級改造。經(jīng)過深入的市場調(diào)研和嚴(yán)格的產(chǎn)品篩選，客戶最終選擇了深國安作為合作伙伴，定制70套SGA-500專門適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境的可燃?xì)怏w檢測儀。

此次交付SGA-500可燃?xì)怏w檢測儀設(shè)備基于客戶項目需求定制，核心適配半導(dǎo)體行業(yè)嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)：其一，檢測性能聚焦半導(dǎo)體工藝常見可燃?xì)怏w(如氫氣、甲烷、異丙醇等)，采用催化燃燒 + 紅外雙傳感技術(shù)，檢測范圍 0-100% LEL，精度≤±3% F.S.，響應(yīng)時間≤10秒，可捕捉 ppb 級微量泄漏，完全滿足半導(dǎo)體車間對可燃?xì)怏w監(jiān)測的高精度要求;其二，潔凈與防爆性能達(dá)標(biāo)，SGA-500可燃?xì)怏w檢測儀機(jī)身采用 316L 不銹鋼一體成型，表面粗糙度 Ra≤0.8μm，符合 Class 100 潔凈標(biāo)準(zhǔn)，無顆粒脫落風(fēng)險，防爆等級達(dá)CT6，適配半導(dǎo)體特氣間、工藝腔室周邊等 1 區(qū)危險環(huán)境;其三，功能模塊按需定制，45套設(shè)備搭載 4G/NB-IoT 無線傳輸模塊，可實(shí)時對接客戶 MES 系統(tǒng)與深國安云端管理平臺，支持遠(yuǎn)程查看濃度曲線、報警聯(lián)動;25套檢測儀配置本地聲光振動三重報警(90dB 聲光 + 500Hz 振動)，適配車間環(huán)境現(xiàn)場預(yù)警。

作為半導(dǎo)體氣體檢測領(lǐng)域的深耕企業(yè)，深國安已累計為中芯國際、華虹半導(dǎo)體等50余家半導(dǎo)體企業(yè)提供定制化解決方案，此次 70 套批量交付再次驗(yàn)證其在 “定制化設(shè)計 + 規(guī)模化交付 + 行業(yè)場景適配” 的綜合實(shí)力，為半導(dǎo)體行業(yè)安全裝備采購提供可靠選擇。