深國(guó)安SGA-501NOX氮氧化物檢測(cè)儀專為半導(dǎo)體光刻、蝕刻、薄膜沉積等工藝的廢氣管控設(shè)計(jì)，是兼顧人員安全、工藝合規(guī)與環(huán)保達(dá)標(biāo)三重需求的核心監(jiān)測(cè)裝備。設(shè)備以≤±3% F.S. 的高精度檢測(cè)能力為核心，融合多氣體同步監(jiān)測(cè)與無(wú)線云端管理功能，精準(zhǔn)破解半導(dǎo)體廢氣低濃度、高干擾的監(jiān)測(cè)痛點(diǎn)。

SGA-501NOX氮氧化物檢測(cè)儀采用進(jìn)口傳感技術(shù)，針對(duì)性捕捉 NO、NO?等氮氧化物組分，檢測(cè)下限低至 0.01ppm，完全滿足半導(dǎo)體行業(yè) NOX≤0.01ppm 的嚴(yán)苛監(jiān)測(cè)標(biāo)準(zhǔn)。支持 1-6種氣體自定義組合檢測(cè)，可靈活搭配半導(dǎo)體工藝常見(jiàn)的氨氣、磷化氫、硫化氫等有毒氣體及 VOCs 監(jiān)測(cè)模塊，實(shí)現(xiàn) “一儀多能”，適配潔凈車間、特氣管道、廢氣處理端等多場(chǎng)景監(jiān)測(cè)需求。

SGA-501NOX氮氧化物檢測(cè)儀設(shè)備搭載 4G/NB-IoT無(wú)線傳輸模塊，檢測(cè)數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)同步至云端管理平臺(tái)，支持電腦、手機(jī) APP 遠(yuǎn)程查看濃度曲線、報(bào)警記錄與設(shè)備狀態(tài)，無(wú)需現(xiàn)場(chǎng)值守即可實(shí)現(xiàn)全流程監(jiān)控。配備 3.5 寸高清彩屏，直觀顯示多組分濃度數(shù)據(jù)，內(nèi)置聲光振動(dòng)三重報(bào)警功能，可自定義兩級(jí)報(bào)警閾值，超標(biāo)時(shí)即時(shí)觸發(fā)預(yù)警并聯(lián)動(dòng)排風(fēng)、切斷閥系統(tǒng)，從源頭阻斷風(fēng)險(xiǎn)。

SGA-501NOX氮氧化物檢測(cè)儀機(jī)身采用 316L 不銹鋼材質(zhì)設(shè)計(jì)，防護(hù)等級(jí)達(dá)IP67，防爆等級(jí)CT6，耐受- 40℃-70℃寬溫與高濕環(huán)境，適配半導(dǎo)體工藝腔室周邊的嚴(yán)苛工況。支持 4-20mA/RS485 信號(hào)對(duì)接 MES 系統(tǒng)，數(shù)據(jù)自動(dòng)存儲(chǔ)10萬(wàn)條，滿足環(huán)保合規(guī)審計(jì)要求，是半導(dǎo)體企業(yè)實(shí)現(xiàn)廢氣精細(xì)化管控的可靠選擇。