在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，氣體泄漏不僅會(huì)影響產(chǎn)品質(zhì)量，還可能引發(fā)嚴(yán)重的安全事故。深國(guó)安推出的半導(dǎo)體機(jī)器狗專用SGA-501氬氣檢測(cè)儀，為行業(yè)帶來(lái)了創(chuàng)新性的氣體安全監(jiān)測(cè)解決方案。這款檢測(cè)儀支持多氣體檢測(cè)功能，除精準(zhǔn)檢測(cè)氬氣外，還能根據(jù)半導(dǎo)體生產(chǎn)場(chǎng)景需求，靈活搭配檢測(cè)氫氣、氨氣、氧氣、VOCs 等多種工藝氣體。在光刻、蝕刻等關(guān)鍵工序中，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)多種氣體濃度，及時(shí)發(fā)現(xiàn)潛在泄漏風(fēng)險(xiǎn)，為生產(chǎn)安全保駕護(hù)航。

半導(dǎo)體機(jī)器狗專用SGA-501氬氣檢測(cè)儀采用進(jìn)口高精度傳感器，檢測(cè)精度達(dá)到行業(yè)較高水平。氬氣檢測(cè)精度 ≤±3% F.S.，能快速、準(zhǔn)確地捕捉到微小的氣體濃度變化。當(dāng)氣體濃度接近或超過(guò)預(yù)設(shè)的安全閾值時(shí)，檢測(cè)儀會(huì)立即發(fā)出聲光報(bào)警，提醒現(xiàn)場(chǎng)人員及時(shí)采取措施，避免事故的發(fā)生。半導(dǎo)體機(jī)器狗專用SGA-501氬氣檢測(cè)儀具備GPRS無(wú)線傳輸功能，可將檢測(cè)數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)上傳至監(jiān)控平臺(tái)。管理人員無(wú)論身處何地，都能通過(guò)電腦或手機(jī)遠(yuǎn)程查看現(xiàn)場(chǎng)氣體濃度數(shù)據(jù)、設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)等信息。一旦檢測(cè)到異常情況，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)推送報(bào)警信息，方便及時(shí)響應(yīng)和處理，大大提高了管理效率和應(yīng)急處理能力。

SGA-501氬氣檢測(cè)儀與機(jī)器狗完美集成應(yīng)用，機(jī)器狗靈活的運(yùn)動(dòng)能力和強(qiáng)大的感知系統(tǒng)，使檢測(cè)儀能夠深入到半導(dǎo)體車間的各個(gè)角落，包括狹窄通道、設(shè)備間隙等人工難以到達(dá)的區(qū)域，實(shí)現(xiàn)全方位、無(wú)死角的氣體監(jiān)測(cè)。為解決多種氣體檢測(cè)需求，半導(dǎo)體機(jī)器狗專用SGA-501氬氣檢測(cè)儀可根據(jù)用戶需求搭配1-6種氣體組合，氣體種類不限，檢測(cè)量程不限，采樣方式不限,并支持粉塵、選配溫濕度檢測(cè)功能。

機(jī)器狗集成SGA-501氬氣檢測(cè)儀的應(yīng)用，通過(guò) “移動(dòng)監(jiān)測(cè) + 智能聯(lián)動(dòng)”，為多行業(yè)氣體安全管控提供高效、安全、精準(zhǔn)的解決方案，已在化工園區(qū)、市政管廊等場(chǎng)景廣泛應(yīng)用，未來(lái)可進(jìn)一步接入數(shù)字孿生系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn) AI 預(yù)測(cè)性維護(hù)，助力智慧工廠建設(shè)。